Новости электроники и микроэлектроники

Приглашаем подписаться на наш telegram-канал https://t.me/IndustryHunter, где мы публикуем новости, перепосты важных сообщений от ассоциаций и наших информационных партнеров, анонсы ближайших событий и многое другое

Россия готовит собственный микроскоп для производства микросхем на замену японскому Hitachi — проект оценили в 2,4 миллиарда рублей

04 июн. 2026 г., 10:00 | 32

Изображение сгенерировано Gemini

Минпромторг выделил 2,4 млрд рублей на разработку отечественного сканирующего электронного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах. Новая установка должна заменить японское оборудование Hitachi, поставки которого в Россию ограничены санкциями, сообщает CNews со ссылкой на портал госзакупок.

Речь идет о создании промышленно-ориентированного CD-SEM-микроскопа для контроля пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец планируется выполнить в версии для пластин 200 мм. Установка должна использоваться для неразрушающего измерения ширины линий, размеров контактных отверстий, расстояний между элементами структуры и других критических параметров на кремниевых пластинах.

В техзадании прямо указаны зарубежные ориентиры — Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. При этом ключевые узлы будущей российской системы — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки и выгрузки пластин, контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Иностранные компоненты допускаются только в исключительных случаях и по согласованию с Минпромторгом. Работы должны быть завершены до июня 2030 года.

Источник: https://www.ixbt.com/news/2026/06/03/hitachi-2-4.html

Подписаться на рассылку

Вернуться к ленте новостей

События