Следите за нами в социальных сетях:

Единая отраслевая платформа по электронике, микроэлектронике и новым технологиям
Покупка и продажа Б/У оборудования

Есть неиспользуемое оборудование или не хватает средств на новое? Найдите здесь объявления тех, кто хочет продать, или разместите свое. Это бесплатно и очень удобно!

100051 – Установка совмещения и экспонирования  AG500-6N-SLC (2017)

Стоимость По запросу

Производитель
M&R Nano Technology

Наработка
-

Гарантия
12 месяцев

Место нахождения
Санкт-Петербург

Контакты продавца:

 АО «Диполь Технологии»

 Константин Крупальник

 +7 (812) 702-12-66

 ih@dipaul.ru

Установки совмещения и экспонирования серии AG500-6N-SLC являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения практически полного спектра задач фотолитографии. Компактные, удобные в эксплуатации и обслуживании у становки превосходно удовлетворят потребности опытных и пилотных производств, лабораторий и исследовательских центров. Оборудование предназначено для работы с прямоугольными подложками размером 60х48мм.

Установки AG500-6N-SLC представляют собой “облегченный” компактный вариант моделей AG500-6N-ST. Данное оборудование для фотолитографии размещается на промышленном столе, позволяет работать с подложками 60х48 мм. Опция совмещения по обратной стороне недоступна для этой модели.

 

Тех. характеристики:

Источник света

Ультрафиолетовая лампа

Длина волны, нм

365-436

Мощность лампы

500Вт

Время жизни лампы, ч

≥800

Интенсивность освещения, мВт/см2

≥20 (365)

≥35 (405)

Равномерность освещения, %

<±3

Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм

>150

Режимы экспонирования

·       Жесткий контакт

·       Мягкий контакт

·       Микрозазор

Разрешение, мкм

Жесткий/мягкий контакт: 1-2 мкм

(условия: ФР AZ1512, толщина ФР 1мкм)

Микрозазор: ≤5 мкм

(условия: ФР AZ4620, толщина ФР 2мкм,

зазор 10мкм)

Диапазон совмещения по осям Х и Y, мм

±5 (другой диапазон по выбору)

Диапазон совмещения по углу,°

5 (другой диапазон по выбору)

Точность совмещения стола, мкм

1

Размер обрабатываемых подложек, мм

60x48 (другой размер под заказ)

Максимальный размер фотошаблона, мм2

До 178х178

Максимальный зазор, мкм

1000

Шаг выставления зазора, мкм

1

Система оптического совмещения

Двупольный видеомикроскоп

Диапазон движения микроскопов по осям X и Y, мм

±40 (другой диапазон по выбору)

Увеличение микроскопов

80х-930х (другой диапазон по выбору)

Точность прямого совмещения, мкм

±1

Система управления

Ручная

Электропитание

220 В, 50 Гц 20А

Вакуум (насос в комплекте)

-80кПа , 0.5 м3/ч

Гибкая трубка, внутр. диам. 6мм

Сжатый воздух

5 - 7 бар (72 - 102 psi)

Гибкая трубка, внутр. диам. 6мм

Габариты (ШхГхВ, мм)

~750х750х1200