Есть неиспользуемое оборудование или не хватает средств на новое? Найдите здесь объявления тех, кто хочет продать, или разместите свое. Это бесплатно и очень удобно!
100051 – Установка совмещения и экспонирования AG500-6N-SLC (2017)
Стоимость По запросу
Производитель
M&R Nano Technology
Наработка
-
Гарантия
12 месяцев
Место нахождения
Санкт-Петербург
Контакты продавца:
АО «Диполь Технологии»
Константин Крупальник
+7 (812) 702-12-66
ih@dipaul.ru
Установки совмещения и экспонирования серии AG500-6N-SLC являются надежным, гибким и бюджетным инструментом для решения практически полного спектра задач фотолитографии. Компактные, удобные в эксплуатации и обслуживании у становки превосходно удовлетворят потребности опытных и пилотных производств, лабораторий и исследовательских центров. Оборудование предназначено для работы с прямоугольными подложками размером 60х48мм.
Установки AG500-6N-SLC представляют собой “облегченный” компактный вариант моделей AG500-6N-ST. Данное оборудование для фотолитографии размещается на промышленном столе, позволяет работать с подложками 60х48 мм. Опция совмещения по обратной стороне недоступна для этой модели.
Тех. характеристики:
Источник света |
Ультрафиолетовая лампа |
Длина волны, нм |
365-436 |
Мощность лампы |
500Вт |
Время жизни лампы, ч |
≥800 |
Интенсивность освещения, мВт/см2 |
≥20 (365) ≥35 (405) |
Равномерность освещения, % |
<±3 |
Диаметр эффективной освещаемой зоны, мм |
>150 |
Режимы экспонирования |
· Жесткий контакт · Мягкий контакт · Микрозазор |
Разрешение, мкм |
Жесткий/мягкий контакт: 1-2 мкм (условия: ФР AZ1512, толщина ФР 1мкм) Микрозазор: ≤5 мкм (условия: ФР AZ4620, толщина ФР 2мкм, зазор 10мкм) |
Диапазон совмещения по осям Х и Y, мм |
±5 (другой диапазон по выбору) |
Диапазон совмещения по углу,° |
5 (другой диапазон по выбору) |
Точность совмещения стола, мкм |
1 |
Размер обрабатываемых подложек, мм |
60x48 (другой размер под заказ) |
Максимальный размер фотошаблона, мм2 |
До 178х178 |
Максимальный зазор, мкм |
1000 |
Шаг выставления зазора, мкм |
1 |
Система оптического совмещения |
Двупольный видеомикроскоп |
Диапазон движения микроскопов по осям X и Y, мм |
±40 (другой диапазон по выбору) |
Увеличение микроскопов |
80х-930х (другой диапазон по выбору) |
Точность прямого совмещения, мкм |
±1 |
Система управления |
Ручная |
Электропитание |
220 В, 50 Гц 20А |
Вакуум (насос в комплекте) |
-80кПа , 0.5 м3/ч Гибкая трубка, внутр. диам. 6мм |
Сжатый воздух |
5 - 7 бар (72 - 102 psi) Гибкая трубка, внутр. диам. 6мм |
Габариты (ШхГхВ, мм) |
~750х750х1200 |