НИИМЭ создал уникальную лабораторию анализа высокочистых материалов

АО «НИИМЭ» – ведущий научно-исследовательский центр в составе электронного холдинга «Элемент» (АФК «Система») создало единственную в России физико-химическую аналитическую лабораторию (ФХАЛ) мирового уровня для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе – не более трех. В России, странах СНГ и Восточной Европы это первая лаборатория подобного уровня исследований, выполняющая ультраследовые анализы для нужд разработок и производства.

В задачи лаборатории входит определение материалов, носящих общеотраслевой стратегический характер, и необходимых для организации производства в микроэлектронной, фармацевтической, химической, биотехнологической, атомной и других отраслях промышленности, составление технических требований и рекомендаций к их использованию, а также проведение анализа и сертификации этих веществ. Лаборатория выполняет анализы жидких сред и химреактивов, используемых в производстве, на предмет обнаружения в них примесей в предельно малых концентрациях (следовых и ультраследовых) и уже разработала более 60 собственных методик,  оформленных согласно требованиям ГОСТ Р8.563-2009.

Лаборатория размещается в чистых производственных помещениях с классами чистоты 5-7 ИСО и оснащена всей необходимой инфраструктурой и современным аналитическим оборудованием: масс-спектрометром с индуктивно связанной плазмой, атомно-абсорбционным спектрометром с графитовым амортизатором, ионными хроматографами, автоматическими титраторами, хроматомасс-спектрометрами, системой очистки кислот, установкой доочистки деионизованной воды и др.   

В лаборатории работают высококвалифицированные специалисты – выпускники РХТУ им. Д.И. Менделеева, МГУ им. М.В. Ломоносова, МИТХТ им. М.В. Ломоносова и других вузов, которые делятся опытом использования современного аналитического оборудования вблизи пределов обнаружения.

ФХАЛ принимает непосредственное участие в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по заключенным государственным контрактам в части разработки методик анализа и многочисленных контрольных измерениях опытных образцов, разрабатываемых в НИОКР.

В рамках программы импортозамещения наша лаборатория участвует во всех опытно-конструкторских работах по созданию химреактивов требуемого качества в части разработки методик анализа соответствия качества высокочистых материалов, —  заявил основатель лаборатории, член-корреспондент РАН, доктор химических наук Борис Грибов. — Мы сегодня, по сути, создаем национальные методики анализа высокочистых химических реактивов и сред, которые могут претендовать на новые российские стандарты качества материалов для производства.

Лаборатория успешно прошла все аудиты экспертной организации «Федеральное учреждение «Национальный институт аккредитации», назначенной Федеральной службой по аккредитации (Росаккредитация) и подтвердила соответствие требованиям международного стандарта ГОСТ ISO/IEC 17025-2019 «Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий» и приказа Минэкономразвития России. Физико-химическая аналитическая лаборатория получила аккредитацию Федеральной службы по аккредитации (Росаккредитация),  внесена в реестр аккредитованных лиц.

***

АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» (НИИМЭ) www.niime.ru – ведущий научно-исследовательский центр в составе электронного холдинга «Элемент» (АФК «Система») www.elementec.ru, резидент ОЭЗ «Технополис Москва». НИИМЭ ведет исследования и опытно-конструкторские работы в области микро- и наноэлектроники. В сфере научной деятельности института разработка семейств технологий с проектными нормами 180-90-65-28 нм для широкого спектра приложений: высокопроизводительной обработки данных, малого энергопотребления, обработки смешанных сигналов, оперативной и энергонезависимой памяти, технологий на базе интеграции гетеропереходных SiGe БТ и КМОП и др. В НИИМЭ работают свыше 600 высококвалифицированных специалистов микроэлектронной отрасли, в том числе 4 Академика РАН, 2 члена-корреспондента РАН, более 70 докторов и кандидатов наук. Институт на постоянной основе сотрудничает с более чем 60 российскими и зарубежными научными центрами, техническими университетами и центрами проектирования, ведет совместные работы по исследованиям и разработке технологий с институтами и организациями Российской академии наук. В 2016 году распоряжением Правительства Российской Федерации АО «НИИМЭ» было определено организацией, ответственной за реализацию приоритетного технологического направления «Электронные технологии» РФ.  В этом статусе НИИМЭ осуществляет координацию деятельности научных и производственных учреждений микроэлектронной отрасли РФ по разработке и применению отечественной элементной базы в электронных изделиях российского производства.