Следите за нами в социальных сетях:

Единая отраслевая платформа по электронике, микроэлектронике и новым технологиям
Новости электроники и микроэлектроники
Приглашаем подписаться на наш telegram-канал https://t.me/IndustryHunter, где мы публикуем новости, перепосты важных сообщений от ассоциаций и наших информационных партнеров, анонсы ближайших событий и многое другое

Новая ступень в технологии атомно-слоевого осаждения

| 452

Компания Термо-Решения объявляет об открытии нового направления поставок высокотехнологичного оборудования – установки атомно-слоевого осаждения производства компании Encapsulix SAS, Франция.

Оборудование данной компании позволяет наносить различные ультра точные пленки и слои с высокой скоростью по сравнению с традиционными решениями. Высокие скоростные показатели процессов достигаются за счет уникальных запатентованных решений подачи реактивов, газов и конструкции рабочей камеры.

Модельный ряд оборудования компании Encapsulix SAS имеет в своем составе, как научно-исследовательские систему, так и установки, ориентированные на интеграцию в кластер в крупносерийном производстве.

 

Области применения оборудования АСО Encapsulix SAS:

- OLED и OLED на кремнии,
- МЭМС и полупроводники,
- Фотовольтаика,
 - Оптика,
- Гибкая и печатная электроника,
- High K и TFT.

 

Особенности оборудования:

- Пластины от 100 до 200 мм,
- Отдельно стоящее решение или интеграция в кластер,
- Автоматическое управление и контроль,
- До 5-ти различных прекурсоров и до 5-ти окислителей в одной установке,
- До 20-ти контролируемых температурных зон,
- Ozone, PELAD процессы, в том числе с предварительной плазменной очисткой,
- In-situ метрология, атмосферная камера, скрубберы, прекурсоры (опция),
- Нагрев до +400С,
- Высокая скорость осаждения (до 50А/мин*).

 

Результаты типовых процессов

Пример установки АСО Infinity M200

 

Ваши вопросы касательно оборудования АСО Вы можете направить нам по электронной почте info@thermo-r.ru или micro@thermo-r.ru

 

 

Источник: ООО «Термо-решения»

 

Подписаться на рассылку

Вернуться к ленте новостей