Россия запускает литографы в серию: первую машину, позволяющую создавать 350-нанометровые чипы, передадут заказчику в декабре

Изображение сгенерировано Gemini
Источник изображения: Gemini

Первый серийный российский литограф, позволяющий производить чипы по нормам 350 нм, планируют передать заказчику в декабре 2026 года. По данным источников CNews, первой установку получит компания «Маппер», входящая через холдинг «Швабе» в Ростех. Следующая серийная машина предназначена для компании «Отраслевые решения» группы «Элемент».

Отечественная машина разработана Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ). Разрешение 350 нм востребовано при выпуске силовой и автомобильной электроники, а также компонентов для промышленного оборудования. Установку ЗНТЦ разработал совместно с белорусской компанией «Планар». Она получила рабочее поле 22 х 22 мм, поддерживает пластины диаметром до 200 мм и использует твердотельный лазер вместо традиционной ртутной лампы. Такой источник излучения должен обеспечить более высокую мощность и энергоэффективность.

Производительность литографа достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час. При работе с 200-миллиметровыми пластинами установка способна обрабатывать до 43 пластин в час.

Базовая версия машины оценивается в 392 млн рублей без НДС. Комплектация с расширенным сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией стоит 561 млн рублей — сопоставимые зарубежные установки обходятся на 40–60% дороже. Срок изготовления одного литографа составляет около 18 месяцев после внесения аванса в размере половины стоимости.

Первым эксплуатантом станет московская фабрика «Маппер», которая занимается контрактным производством кремниевых элементов по технологии МЭМС. Предприятие располагает 1500 кв. м чистых помещений, обрабатывает до 5 тысяч пластин в год и участвует в проекте по созданию инфракрасных матриц для тепловизоров и беспилотников.

На этом проект не заканчивается. Следующим этапом станет серийный отечественный литограф с разрешением 130 нм, который также разрабатывается совместно с компанией «Планар». Опытный образец установки анонсировали в августе 2026 года, стоимость опытно-конструкторских работ оценивается в 5,7 млрд рублей.

Начать серийные поставки литографов, позволяющих выпускать 130-нанометровые чипы, планируется уже в 2027 году.

Источник: https://www.ixbt.com/news/2026/09/11/435165-rossiia-zapuskaet-litografy-v-seriiu-pervuiu-masinu-pozvoliaiushhuiu-sozdavat-350-nanometrovye-cipy-peredadut-zakazciku-v-dekabre.html