Новости электроники и микроэлектроники

Приглашаем подписаться на наш telegram-канал https://t.me/IndustryHunter, где мы публикуем новости, перепосты важных сообщений от ассоциаций и наших информационных партнеров, анонсы ближайших событий и многое другое

В России создали безмасочный нанолитограф

04 окт. 2023 г., 09:30 | 799

Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) создали две установки, которые позволят «решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники». Это установка безмасочной нанолитографии и установка плазмохимического травления кремния.

Первая позволяет получение изображения на подложке без использования маски: такой вариант проще и дешевле традиционного литографа, в котором используется шаблон. Так, отечественная разработка оценена в 5 млн рублей против 10 млрд рублей за иностранную. Ученые разработали ПО для управления литографом и полностью автоматизировали процесс его работы.

Что касается второй установки, то она позволяет создавать создавать кремниевые мембраны. Руководитель научной группы Артем Осипов считает, что отечественные мембраны по надежности и чувствительности превосходят те, что изготавливаются методами жидкостного или лазерного травления.

Применение безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. Например, в радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД, — отметил Артем Осипов.

Ученые еще будут совершенствовать обе установки. В частности, планируется внедрить в обе машинное обучение.

Источник: https://www.ixbt.com/news/2023/10/03/v-rossii-sozdali-bezmasochnyj-nanolitograf.html

Подписаться на рассылку

Вернуться к ленте новостей

События