С плазменным приветом из Германии

Константин Крупальник, заместитель главного технолога по микроэлектронике компании «Диполь»

Итак, ответ на вопрос, что общего у печатной платы, лыжного шлема, полупроводниковой пластины и кроссовок, мы раздобыли в небольшом городке Эбхаузен, расположенном в земле Баден-Вюртемберг на юго-западе Германии. А помогли нам в этом коллеги из компании Diener Electronic, дистрибьютором продукции которых является «Диполь».

    Столь непохожие предметы связывает плазменная обработка и ее возможности. Оборудование плазменных процессов широко представлено в нашем каталоге «Технологическое оборудование для микроэлектроники», но весь спектр применений плазменных технологий даже трудно представить. Коллеги из Diener Electronic каждый раз преподносят сюрпризы и имеют солидный запас историй, которые не перестают удивлять. В определенный момент начинает казаться, что плазму можно применить абсолютно везде. Вполне вероятно, в ближайшем будущем так оно и будет. Но обо всем по порядку (мы же в Германии!). 

Подкрашенные шарики воды на ткани с гидрофобным покрытием, нанесенным в плазме

    Мы — я и мой коллега Сергей Леванов, руководитель технологической группы отдела микроэлектроники — отправились в Германию не случайно. Основной целью поездки было подтверждение наших знаний сертификатами Diener Electronic. Визит пришелся на конец лета, и приятная погода оттенила интенсивный рабочий процесс.

Здание штаб-квартиры Diener Electronic

    Компания Diener Electronic была основана в 1993 году господином Криштофом Динером (Christof Diener) и на сегодняшний день представляет собой коллектив более чем из 120 человек. Компания выпускает около 500 плазменных установок в год и имеет в своей базе клиентов, работающих во всех областях промышленности: производство электроники, точных приборов, часов, автопром и авиастроение, медицина и исследования, легкая промышленность и обработка тканей и так далее. Имена клиентов говорят сами за себя: Infineon, ST, Siemens, Bosch, 3M, Airbus, Swarovski, Toyota, Asahi, Honeywell, Nikon, Sennheiser и многие другие. Следует отметить, что Diener Electronic не только изготавливает оборудование, но и осуществляет контрактную плазменную обработку при помощи собственного оборудования, а также сдает оборудование в аренду. Отсюда и огромный парк из нескольких десятков машин, с которыми нам удалось познакомиться в ходе визита.

    К нашему приезду коллеги из Diener Electronic подготовили весьма интересную программу интенсивного тренинга, за что отдельное спасибо нашему давнему знакомому Аркадию Конавко, инженеру по продажам оборудования Diener Electronic, с которым мы ведем все наши проекты в России. Аркадий имеет огромный опыт работы с технологиями и оборудованием атмосферной плазмы и плазмы пониженного давления. Этот опыт мы с удовольствием перенимали в лаборатории Diener Electronic на тестовых машинах, кстати, их оказалось гораздо больше, чем мы предполагали.

    Часть тренинга была посвящена непосредственно машинам атмосферной плазмы и машинам плазмы пониженного давления. Здесь проблем не возникло. Машины Diener Electronic устроены довольно просто, и управлять ими буквально за полчаса может научиться каждый, в чем я вижу огромный плюс, поскольку это один из секретов популярности данного оборудования. Наша страна здесь не исключение. То же касается и пусконаладки с сервисом. Все просто, понятно и быстро. Для сервис-инженера такие машины — одно удовольствие. Иными словами, очередной пример сочетания немецкого качества и функционала и демократичной цены. Что еще нужно?

Установка плазменной обработки Atto с ручным управлением

Установка атмосферной плазмы APC 500. Плазменный разряд на воздухе

Образцы в лаборатории Diener Electronic

    После детального обзора машин мы перешли в лабораторию, где и увидели огромный стол с самыми разнообразными образцами (рис. 5). Упоминание о нем позволяет вернуться к началу нашего разговора — кроссовкам и печатным платам. К нам в отдел микроэлектроники постоянно приходят запросы на оборудование плазменных процессов. Чаще всего речь идет о полупроводниковом кристальном производстве, производстве ГИС или печатных плат. Эти направления понятны, наработан большой опыт. Хотя в нашей стране еще достаточно много предприятий, которые только открывают для себя неоспоримые преимущества процессов плазменной очистки, активации, модификации поверхности различных материалов, плазма все же давно стала неотъемлемой частью современных технологий. А вот лыжный шлем и медицинские пипетки — это что-то новенькое. Собранные экспонаты демонстрируют, насколько широки возможности плазмы и какие разные материалы можно обрабатывать с ее помощью. А те, что пока не обрабатывают, — точно скоро будут! К подобной обработке относится и очистка, и модификация поверхности, и нанесение покрытий. Можно попробовать немного систематизировать наиболее распространенные применения плазмы:

Прогулка по Штутгарту. Дворец-резиденция вюртембергских герцогов и королей

     В лаборатории нам также удалось провести ряд качественных тестов для того, чтобы лучше понять принципы плазменной обработки материалов. К ним можно отнести и определение энергии поверхности материалов, и определение угла смачивания обработанной и необработанной поверхности, и визуальные тесты на наличие плазменной обработки, и тесты по обработке порошков, и многое другое. Нам также удалось посмотреть ткани и обувь со специальным покрытием, полностью отталкивающим воду, на обувь, склеенную после плазменной обработки (она не склеивается без обработки при использовании экологичного клея на водной основе), на пластиковые детали, которые можно надежно покрасить только после плазменной обработки (красится даже пластик ПТФЭ!). Мы видели медицинские пластиковые приборы — при помощи плазмы их стерилизуют или наносят гидрофобное покрытие для отталкивания реактивов. На фоне этих возможностей наши традиционные очистка плат, подготовка поверхности перед напылением и микросваркой и удаление фоторезиста кажутся совсем заурядным делом. Плазма, безусловно, открывает новые горизонты.

    В той же лаборатории специалисты Diener Electronic разрабатывают новые процессы и подбирают технологические режимы оборудования под разные задачи. Характерная деталь — в компании есть собственная научная библиотека, и количеству стеллажей в ней могут позавидовать многие экспериментальные лаборатории. Книги и статьи собирают по всему миру: на полках есть оригинальные тексты на английском, немецком, китайском и других языках.

Научная библиотека Diener Electronic

    Так вышло, что плотный рабочий график почти не оставлял свободного времени. Из туристических радостей нам выпала небольшая прогулка по Штутгарту и поездка по живописным дорогам в окрестностях леса Шварцвальд. И ежегодный винный фестиваль, на который мы случайно набрели, прогуливаясь по Штутгарту. Что тут скажешь, неисповедимы и прекрасны командировочные пути.

    В целом, хочется сказать, что работать со специалистами Diener Electronic — одно удовольствие. За имеющимся оборудованием стоит серьезная научная и экспериментальная база, слаженный коллектив, который поможет найти решение для самой сложной производственной задачи и даже провести НИОКР в области плазменной обработки (тому уже есть немало примеров). У нас, специалистов «Диполя», схожая миссия. Мы передаем полученные знания нашим клиентам в России (теперь уже как сертифицированные специалисты). Поездка помогла нашей команде отдела микроэлектроники шире взглянуть на перспективу развития многих технологий, вооружила новыми возможностями. А это немаловажный критерий для наших заказчиков, которые вместе с нами выводят свои производства на новый технологический уровень.

Сайт группы компаний "Диполь" www.dipaul.ru

Понравилась статья? Поставьте лайк 3

Микроэлектроника Производство кристаллов Плазменная обработка поверхности Установка плазменной обработки Diener Electronics Производство МЭМС устройств Плазменная обработка поверхности Установка плазменной обработки Diener Electronics