Следите за нами в социальных сетях:

Единая отраслевая платформа по электронике, микроэлектронике и новым технологиям
我们在俄罗斯为中国公司做广告
Новости электроники и микроэлектроники
Приглашаем подписаться на наш telegram-канал https://t.me/IndustryHunter, где мы публикуем новости, перепосты важных сообщений от ассоциаций и наших информационных партнеров, анонсы ближайших событий и многое другое

Китайский прорыв: Prinano поставила первый наноимпринтный литограф для производства чипов

| 90

Китайская Prinano (PuLin Technology) поставила свой первый самостоятельно разработанный наноимпринтный литограф PL-SR компании из КНР. Система предназначена для реального производства чипов. Prinano стала второй компанией после Canon, разместившей наноимпринтный литограф у клиента.

PL-SR поддерживает ширину линий менее десяти нанометров. Canon FPA-1200NZ2C способна создавать рисунки схем на полупроводниковых пластинах с минимальной шириной линии 14 нм. PL-SR позволяет производить чипы класса 5 нанометров, но в документах отмечено, что это вовсе не значит, что литограф Prinano может производить передовую логику по 5-нанометровому техпроцессу.

У нанопечатной литографии есть свои преимущества: ей не нужен источник экстремального ультрафиолета (EUV), используемых в коммерческой EUV-литографии, что снижает энергопотребление и стоимость оборудования. Компромиссом являются производительность и гибкость: нанопечать медленнее, чем обычная оптическая литография, и плохо подходит для сложных логических процессов со сложными шаблонами. Система Prinano хорошо подходит для производства флэш-памяти, но едва ли ее можно использовать для выпуска CPU и GPU.

Машина Prinano формирует рисунок на пластинах, прижимая жесткую кварцевую форму, выгравированную с наноразмерными схемами, к тонкому слою резиста, нанесенному струйной печатью. Струйный модуль системы динамически измеряет объем капель, чтобы сохранить тонкий остаточный слой (менее десяти нанометров с отклонением менее двух нанометров). PL-SR обрабатывает 300-мм пластины.

 

 

Источник: https://www.ixbt.com/news/2025/08/17/kitajskij-proryv-prinano-postavila-pervyj-nanoimprintnyj-litograf-dlja-proizvodstva-chipov.html

Фото: Prinano

 

Подписаться на рассылку

Вернуться к ленте новостей